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吉時利(Keithley)與Novellus共同開發(fā)自動診斷測試

吉時利(Keithley)與Novellus共同開發(fā)自動診斷測試

美國俄亥俄州克里夫蘭市及加利福尼亞州San Jose市2003年4月2日報導——吉時利儀器公司(紐約股票代碼為:KEI), 作為無線通訊集成電路電參數(shù)測試系統(tǒng)的領導者,同Novellus系統(tǒng)公司(納斯達克股票代碼為:NVLS), 作為國際半導體工業(yè)先進的沉積,表面處理, 化學機械平整(CMP)工藝等設備的生產(chǎn)與技術革新領導者, 今天宣布他們將在位于San Jose的Novellus客戶集成中心開始合作。合作的主要目標是:基于吉時利先進的S600半導體直流參數(shù)測試平臺來開發(fā)適于銅及低K材料的電氣工藝診斷測試。這種測試將會大大節(jié)省銅工藝開發(fā)的時間并有利于提高Novellus及吉時利客戶的生產(chǎn)率。
銅及低K材料具有高速及低功耗的特點,無線通訊行業(yè)正快速與基于這種工藝的半導體技術相結合。這種趨勢對于行業(yè)發(fā)展非常關鍵, 將使半導體器件體積越來越小,功耗卻越來越大,。
“設計規(guī)則的變化已不能完全遵照按比例來改變性能。因此,新材料正被加速引薦到這個行業(yè)中來滿足對性能及功耗提升的要求。”吉時利總經(jīng)理Mark Hoersten表示:“在半導體量產(chǎn)的工藝開發(fā),工藝集成及控制過程中采用新的銅及低K材料,這一舉措意味著行業(yè)將面臨巨大的新的挑戰(zhàn)。我們同Novellus的合作,會因為Novellus在新材料方面的專長,而加強吉時利電特性測量方面的領先能力,更好地為全球無線通信集成電路客戶服務。”
“選擇了吉時利的領先電性能測試技術,Novellus將提高銅及低K材料內(nèi)部結構電特性的全面分析能力。”Novellus工藝集成及應用副總裁Bob Havemann說,“這樣,我們能夠開發(fā)更堅固耐用的設備,用于加工和獲取很重要的信息,幫助我們的客戶,在他們特定的工藝流程中引進這些工藝設備,最終達到提高生產(chǎn)率的目標。”
關于吉時利儀器公司:美國吉時利儀器公司為無線通訊、半導體、光電和其他電子工業(yè)提供光和電信號的測試方案。全球的許多工程師和科學家都使用吉時利儀器公司先進的軟硬件產(chǎn)品,用于過程監(jiān)控、產(chǎn)品測試和基礎研究等各個領域。
關于Novellus系統(tǒng)公司:Novellus系統(tǒng)公司是S&P 500企業(yè), 生產(chǎn)與服務于半導體工業(yè)先進的沉積, 表面處理, 化學機械平整(CMP)工藝等設備, 以最低成本批量生產(chǎn)先進的,領導行業(yè)潮流的半導體設備。總部位于加利福尼亞州的San Jose,在美國各州均有分部。在英國、法國、德國、荷蘭、愛爾蘭、以色列、意大利、印度、中國、日本、韓國、馬來西亞、新加坡及臺灣地區(qū)設有辦事處。Novellus在納斯達克股票交易所上市(代碼為:NVLS),是納斯達克100指數(shù)的組成部分之一。其它信息請參考Novellus主頁:www.novellus.com
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